精度是指測量結果和實際值的一致程度，是儀表基本誤差的最大允許值，習慣上也簡單地說為基本誤差或允許誤差。精度高意味著系統誤差和隨機誤差都很小。

精度等級是儀表按精度高低分成的等級，它決定儀表在標準條件下的誤差限。儀表的精度等級是根據引用誤差來劃分的，如某臺儀表的最大基本允許引用誤差為±1.5%，則該儀表的精度等級為 1.5 級。

滯環、死區和回差

滯環是指由輸入增大的上升段和減小的下降段構成的特性曲線所表征的現象。

死區是指輸入量的變化不致引起輸出量有任何可察覺變化的有限區間。死區用輸入量程的百分數表示。

回差（也叫變差）是指輸入量上升和下降時，同一輸入的兩相應輸出值間（若無其它規定，指全范圍行程）的最大差值。回差包括滯環和死區，并以輸出量程的百分數表示。

重復性誤差和再現性誤差

重復性誤差是指在同一工作條件下，對同一輸入值按同一方向，連續多次測量的輸出值之間的差值。一般用量程的百分數表示。

再現性誤差是指在同一工作條件下，在規定時間內對同一輸入值兩個相反方向重復測量的輸出值之間的最大差值。再現性誤差是包括重復性誤差、滯環、死區和漂移的綜合性指標，一般用量程的百分數表示。

靈敏度和靈敏限

靈敏度是表達儀表對被測參數變化的靈敏程度。是指儀表在達到穩定狀態后，輸出信號變化量與引起此輸出信號變化的被測參數變化量之比。它是儀表輸入與輸出轉換曲線上的斜率。

靈敏限是指能夠引起儀表輸出信號發生變化的輸入信號的最小變化量。一般，儀表的靈敏限的數值不應大于儀表允許誤差絕對值的一半。靈敏限實際上就是死區。

非線性誤差

對于理論上具有線性特性的儀表，實際上輸入輸出特性曲線對理論線性特性的偏離程度。

動態誤差

由于檢測環節中存在的元件動慣量（時間常數），測量傳遞滯后（純滯后時間）帶來的誤差。

時間常數

時間常數是指當輸入階躍信號時，儀表的輸出值達到其穩定值的 63.2%所需的時間。

全行程時間

全行程時間是指當輸入滿量程階躍變化時，輸出由下限至上限，或反行程移動所需的時間。通常以全量程的 5%作為輸出下限值，全量的 95%作為輸出上限值。

穩定時間

穩定時間是指從輸入信號躍變化起，到輸出信號進入并不再超過偏離其最終值規定（如 5%）時的間隔時間。

滯后時間

滯后時間也叫時滯，是指當輸入產生變化的瞬間起，到它引起輸出量開始變化的瞬間止的時間。

綜合誤差

綜合誤差TPE（Toal Probable Error）是指儀表精度以及諸如靜壓、溫度等多種附加誤差的均方根誤差。

穩定性（度）和可用性

穩定性是指在規定的工作條件下，儀表性能隨時間保持不變的能力。通常用零點漂移來衡量。